Ръководство за отстраняване на неизправности във вакуумна пещ

1. Нисък вакуум / Недостигане на зададената точка

Често срещани причини

Проблеми с помпата:Влошено, недостатъчно или емулгирано масло на помпата; запушени всмукателни решетки или изпускателни филтри.

Теч:Остарели или повредени уплътнения на вратата, О-пръстени на фланци и уплътнения; пукнатини в заварки на тръби или разхлабени фитинги.

Клапани:Вакуумни вентили (соленоидни/пневматични) не се поставят правилно, залепват или вътрешен байпас.

Отделяне на газове:Прекомерно отделяне на газ от детайли или приспособления; влагата/летливите вещества не са напълно дехидратирани.

Инструментариум:Повреда на вакуумметъра, отклонение на калибрирането или смущения в електронния сигнал.

Стъпки за отстраняване на неизправности (от най-простите до най-сложните)

Първоначална проверка:Проверете захранването и потока на охлаждащата вода; уверете се, че маслото на помпата е чисто и на правилното ниво; потвърдете, че всички клапани са в правилните си позиции.

Тест-на-повдигане (ROR):Изпомпайте до краен предел, след това изолирайте камерата, като затворите главния вентил и спрете помпата. Наблюдавайте повишаването на налягането:

Бързо покачване:Показва голям атмосферен теч.

Бавно/постепенно нарастване:Предполага микро-теч или отделяне на газове в камерата.

Диагноза на изолация:

Тествайте самостоятелно механичната помпа:Свържете манометъра директно към входа на помпата. Ако не успее да достигне крайното си налягане, помпата се нуждае от сервиз (смяна на масло или основен ремонт).

Тествайте Foreline:Ако помпата е наред, проверете предната линия. Ако вакуумът се задържи, течът се намира в камерата на пещта или секцията с висок-вакуум.

Откриване на течове:

Откриване на големи течове:Нанесете изопропилов алкохол (IPA) или сапунена вода върху фланците, уплътненията на вратите и заваръчните шевове. Внимавайте за колебания на манометъра или мехурчета (ако е под налягане).

Прецизно откриване:Използвайте детектор за течове с хелиев масспектрометър (HMSLD) за точно определяне на микро-течове, особено в системи с висок-вакуум.

Калибриране на габарит:Сравнете показанията със сертифициран главен габарит; сменете сензорите, ако е необходимо.

Коригиращи действия

Механични помпи:Сменете маслото (стандартно #46 вакуумно масло), почистете филтрите и сменете износените вътрешни компоненти.

Уплътнения:Сменете всички остарели О-пръстени или метални уплътнения; уверете се, че уплътнителните повърхности са чисти и болтовете на вратата са затегнати равномерно.

Клапани:Разглобете и почистете сърцевините на клапаните; уплътнителни повърхности за припокриване; проверете намотките на соленоида и пневматичните задвижващи механизми за правилен ход.

2. Висока вакуумна флуктуация

Причини:Периодични течове, нестабилна скорост на изпомпване, спадове на напрежението, колебания на температурата на охлаждащата вода или смущения в PID управлението.

Действие:Запишете цикъла на колебание; проверете за необичаен шум/вибрация на помпата; осигурете стабилно захранване и поток на охлаждаща вода; екранирайте сигналните кабели за елиминиране на EMI (електромагнитни смущения).

3. Ненормален шум от помпата, пръскане на масло или дим

Ненормален шум:Причинено от износени съединители, контакт-с-корпуса или повреда на лагера.Действие:Ремонтирайте помпата и сменете износените части.

Пръскане с масло:Причинени от прекомерни нива на масло, запушени изпускателни филтри или разместени О-пръстени на входящия клапан.Действие:Регулирайте нивото на маслото, сменете филтрите и поставете отново О-пръстените.

пушене:Причинено от карбонизация на маслото или прегряване.Действие:Незабавно сменете маслото, проверете охладителната система и почистете камерата на помпата.