Нагревателните елементи на вакуумните пещи са разделени на метали и неметали.
Металните нагревателни елементи обикновено се разделят на два вида: единият е скъпоценни метали, като молибден, платина, волфрам, тантал и др., А другият е общи метали, като никел - хромова топлина - резистентна алошетка, желязо-} chromium alumum Alloy, molybdenum - волфрамов сплав и т.н.
Non - метални елементи на отопление включват два вида графит и съединение. Съединенията са силициев карбид, молибден силицид, молибден оксид два и така нататък. Силиконов карбид се свързва и се разлага при висока температура, докато два молибден оксид омекотяват 1300 градуса. Само графитът има характеристиките на добрата обработка, високотемпературната устойчивост, добрата устойчивост на гасенето и топлината, добрата пластичност, голямата радиационна площ, добрата устойчивост на термичния шок и т.н., така че е подходяща за изработка на нагревателни елементи.